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- · 关于领取2020年南京市机械工程初/中级《专业技术资格评审申报表》和《评审、备案情况登记表》的通知[01/05]
- · 关于公布2020年度南京市机械工程高级专业技术资格评审委员会评审结果的通知[12/29]
- · 关于退还2020年评审费差价的通知[12/23]
- · 关于确认李伟祥等89名同志具备2020年度机械工程助理级专业技术资格的通知[12/17]
- · 关于公布南京市机械工程中级专业技术资格评审委员会评审结果的通知[12/15]
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Si3N4陶瓷轴承NCD涂层制备中的温度场模拟
作者: 杨春 [1,2] ; 卢文壮 [1,2] ; 左敦稳 [1] ; 徐锋 [1] ; 任卫涛 [1]
摘要：纳米金刚石（NCD）薄膜涂层由于优异的力学和摩擦学性能,是一种理想的轴承涂层材料。在用HFCVD方法制备NCD涂层的过程中,衬底温度是重要参数之一。首先设计了一种适合轴承内外圈NCD涂层制备的热丝夹持装置,其次分析了HFCVD系统的热交换过程,并建立了相应的衬底温度场的三维有限元模型。在此模型基础上具体讨论了热丝数目、温度、热丝到衬底距离等因素对衬底温度大小及均匀性的影响。结果表明,由于衬底相对尺寸较小并且考虑了衬底内部的热传导,各参数的变化对衬底温度大小有明显影响,但对衬底温度均匀性影响不大。结果为轴承NCD涂层的制备提供了理论基础。