钢表面功能氮化铝陶瓷膜制备方法研究

摘要：为实现工程中对油膜厚度无损检测的目的,需要在钢表面制备A1N 压电薄膜,作为声发射接收元件.采用直流反应磁控溅射技术,利用A1 作为过渡基层,在不锛钢上沉积A1N 薄膜.研究了改变溅射功率、氮气流量比等工艺条件对A1N 薄膜生长的影响.利用X 射线衍射仪（XRD）和原子力显微镜（AFM）对薄膜取向性及表面质量做了表征.实验结果表明,溅射功率的增加有利于A1N 薄膜的择优取向生长,但过高的功率会影响薄膜表面的粗輕度;氮气流量比过低或过高都会影响A1N 的生长,应将其控制在3 0 % - 7 0 % 的范围为宜.