小型化热丝CVD金刚石膜沉积设备的研究与开发

作者: 吴小军 ; 左敦稳 ; 徐锋 ; 卢文壮 ; 林欢庆

关键词: CVD金刚石膜小型化热丝化学气相沉积摆动衬底

摘要：对传统HFCVD金刚石膜沉积设备进行小型化改进,分析了传统沉积设备在真空系统和衬底机构结构上的不足之处;介绍了小型化CVD金刚石膜沉积设备的系统构成;详细描述了该小型化设备的真空系统和衬底摆动机构。该系统具有均匀的表面温度场和很高的运行稳定性,可以用于纳米金刚石薄膜和金刚石厚膜的沉积,制备的纳米金刚石薄膜晶粒大小基本上都在200 nm以下,纳米硬度为（450-700）GPa;沉积的金刚石厚膜直径达93 mm,晶粒完整均匀。

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小型化热丝CVD金刚石膜沉积设备的研究与开发

作者: 吴小军 ; 左敦稳 ; 徐锋 ; 卢文壮 ; 林欢庆

关键词: CVD金刚石膜 小型化 热丝化学气相沉积 摆动衬底

关键词: CVD金刚石膜小型化热丝化学气相沉积摆动衬底