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  《机械制造与自动化》创刊于1972年,双月刊,16开本,中国科技核心期刊。期刊主要栏目有:综述与展望;机械制造;信息技术;电气与自动化;专题讲座等。服 ...

多重网格法求解微机械谐振器的挤压膜阻尼

作者: 黄善敏 ; 李普

关键词: 微谐振器 挤压膜阻尼 多重网格方法

摘要:针对求解MEMS挤压膜阻尼过程中存在的问题,采用了多重网格方法进行求解,与传统方法相比,应用于挤压膜中流体问题的求解具有收敛速度快,数值稳定性好的优点,求得了谐振器平板间的压力分布函数以及微谐振器的各个性能指标的值,研究了挤压膜中流体阻尼力的特性以及与谐振器件幅—频特性的关系。


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