不同粒径金刚石固结磨料抛光硫化锌晶体研究

作者: 黄金库李军黄建东左敦稳申翔宇杨楠郁玥周志云南京航空航天大学机电学院江苏南京210016 江苏迅达电磁线有限公司江苏扬州225815

关键词: 硫化锌固结磨料抛光粒径材料去除率表面粗糙度

摘要：磨粒粒径是影响抛光最重要的参数之一，是决定加工效率和工件表面质量的关键要素。采用1—3μm、2～4μm、3—5μm3种粒径的金刚石固结磨料抛光垫加工硫化锌晶体。分析磨粒粒径对工件表面质量和材料去除率的影响。实验结果表明，磨粒粒径对硫化锌晶体的固结磨料抛光影响显著，随着磨粒粒径的增大，固结磨料抛光硫化锌晶体的材料去除率增大，而表面质量变差。2—4μm金刚石固结磨料抛光垫加工硫化锌晶体可同时获得高材料去除率和优表面质量．材料去除率达到100nm／min．表面粗糙度为4．37nm。

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不同粒径金刚石固结磨料抛光硫化锌晶体研究

作者: 黄金库 李军 黄建东 左敦稳 申翔宇 杨楠 郁玥 周志云 南京航空航天大学机电学院 江苏南京210016 江苏迅达电磁线有限公司 江苏扬州225815

关键词: 硫化锌 固结磨料抛光 粒径 材料去除率 表面粗糙度

作者: 黄金库李军黄建东左敦稳申翔宇杨楠郁玥周志云南京航空航天大学机电学院江苏南京210016 江苏迅达电磁线有限公司江苏扬州225815

关键词: 硫化锌固结磨料抛光粒径材料去除率表面粗糙度