- · 关于领取2020年南京市机械工程高级《专业技术资格评审申报表》和《评审、备案情况登记表》的通知[01/22]
- · 关于重申退还2020年评审费差价的通知[01/19]
- · 关于领取2020年南京市机械工程初/中级《专业技术资格评审申报表》和《评审、备案情况登记表》的通知[01/05]
- · 关于公布2020年度南京市机械工程高级专业技术资格评审委员会评审结果的通知[12/29]
- · 关于退还2020年评审费差价的通知[12/23]
- · 关于确认李伟祥等89名同志具备2020年度机械工程助理级专业技术资格的通知[12/17]
- · 关于公布南京市机械工程中级专业技术资格评审委员会评审结果的通知[12/15]
- · 关于省（部）属企事业单位不在南京市参评职称 及退还评审费的说明[11/13]
溅射薄膜压力传感器敏感元件的制作工艺研究
作者: 蒋传生 ; 章恺
摘要：磁控溅射技术以其在制备薄膜中的独特优点，成为获得高性能薄膜材料的重要手段。采用掩膜法溅射的方法制作薄膜压力传感器敏感元件的电阻层。发现了掩膜法溅射在制作小间距线宽的弊端，引入了先溅射后光刻的制作工艺，实验结果表明，该方法能成功制作出所需的电阻图形。
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