中国机械工程学会微纳制造技术分会学术论坛暨第二届二次委员会议召开

       2020年8月16日上午，由中国机械工程学会微纳制造技术分会主办，西安交通大学、大连理工大学、陕西省机械工程学会、明石创新（烟台）微纳传感技术研究院、西安交通大学（烟台）智能传感技术与系统研究院承办的“中国机械工程学会微纳制造技术分会学术论坛暨第二届二次委员会议”在烟台城市党建学院主会议室召开。

       会议上半程主持人由中国科学院大学的王军波教授担任，首先介绍了与会专家学者有：分会主任委员、中国工程院院士、西安交通大学的蒋庄德教授；分会副主任委员、西北工业大学的苑伟政教授；分会副主任委员、中科院上海微系统与信息技术研究所的李昕欣研究员；分会总干事、西安交通大学的赵立波教授。参会的人员还有张飞虎、陈明君、曲宁松、戴一帆、杨树明等学会领导。
       会议分为三个议程展开，第一个部分为学术报告，由各个领域的专家对其研究内容与研究进展进行学术汇报与交流。
       哈尔滨工业大学的陈明君教授作题目为“高精度陀螺研究进展与关键器件超精密制造技术”的报告。陈教授首先阐述了陀螺仪在军民两个领域的广泛应用、陀螺仪技术的更新换代、各类陀螺仪的关键部件与加工方法。同时，重点介绍了半球谐振陀螺仪工作原理、应用及其加工难点，结合团队实际研究工作，探讨了半球谐振子超精密磨抛加工装备的研制、误差补偿方法，并展示了自研制的陀螺仪在航空航天领域的应用。与会人员对于高精度陀螺仪及其相关超精密制造技术有了更深刻的理解。

       中科院上海微系统与信息技术研究所的李昕欣研究员针对团队开发的新型微铸造技术，作了题目为“MEMS微铸造工艺与应用”的学术报告。李研究员首先介绍了中科院上海微系统与信息技术研究所，以及其研究团队过去10年里在Transducers与MEMS国际会议上的突出表现。重点介绍了自研制的微铸造装备，以及该项技术在电流传感器、电磁继电器、能量收集、滤波器领域的成功应用。报告中，李研究员一直强调面对美国技术封锁，我们不能跟着他们的技术做，要做原始创新，做新原理的研究，突破关键技术，让美国人卡不了我们的脖子。
       接着，南京航天航空大学的曲宁松教授作了题为“微纳电解加工”的学术报告。报告介绍了微纳电解加工技术通过电解腐蚀方法得到精密的大长径比电极结构，相关工艺参数如相对位移、消除重力、施加高频电压等对细线电极结构参数的调控机制，通过对传统线切割方法的改进，加工了多种复杂的微纳结构，并制备了电解线切割加工加速度计用敏感挠度元件。曲教授的报告给与会人员打开了基于电化学原理的超精密加工新视野。

       会议下半程主持人由哈尔滨工业大学张飞虎教授担任。
       西北工业大学的苑伟政教授作了题为“方寸芯片舞翩跹”的学术报告，从无“微”不至，“芯”动则灵，“芯”想“智”成三个方面，阐述了MEMS微纳芯片的优势、发展趋势以及我国发展MEMS芯片的必要性。苑教授结合团队实际研究，重点介绍了其团队在飞行器流动测控MEMS灵巧蒙皮、航空航天特种MEMS制造技术、剪应力精确测量微传感器三个方向的研究成果，指出智能化是微机电系统发展的必然趋势，鼓励在座研究人员，面向国家重大需求，开展科学研究，推动我国MEMS技术的发展。
       国防科技大学的戴一帆教授针对光学元件的制造需求，作了题目为“光学超精密加工技术”的学术报告。戴教授首先阐述了光学元件的发展背景、国家重大需求，并详细介绍了数字化抛光技术与装备：磁流变、离子束及超精密车光学加工等，指出光学加工技术伴随国家重大需求而发展，光学超精密加工可实现纳米形状修形。
       北京理工大学周天丰作了题为“微纳模具制造及微纳成形”的学术报告。报告介绍了研究背景，指出先进制造技术需要重点突破极端制造—微纳机电系统、微纳制造、超精密制造、制造工艺和检测技术。重点介绍了研究团队的最新研究成果——微纳器件玻璃模压成形制造技术，该技术可克服传统MEMS／激光加工技术在成本高、时间长、面形差等方面的不足，在高像素摄像头、高清投影、半导体激光器等方面实现了产业化应用。
       厦门大学的彭云峰教授作了题为“大口径光学非球面的超精密加工装备与技术”的学术报告，指出高效磨削＋确定性抛光能够解决高效加工与亚表面磨损的矛盾，重点介绍了研究团队在高效气囊抛光工具及加工机理等方面的最新研究成果，针对UPG80机床开发了专门的误差修正、自适应加工路径设计、配套软件以及智能监控系统。

       学术报告环节结束后，分会主任委员蒋庄德院士为报告人颁发了报告证书，并合影留念。
       会议第二个议程，分会总干事、西安交通大学的赵立波教授向与会委员汇报了在过去一年时间里的主要工作。第一，筹备并举办了2020中国大学生机械工程创新创意大赛—“明石杯”第一届微纳传感技术与智能应用大赛。本次大赛覆盖了微纳传感器的创新设计、微纳工艺研究、极端条件的标定测试及其智能应用等多方面内容，大赛共收到参赛报名165项，经初赛函评，优选出58支参赛队伍来到烟台进行全国总决赛，经过现场答辩与专家组评审，角逐出了一二三等奖及优秀奖，获得了参赛队伍及社会各界的一致好评。第二，积极参与了中国机械工程学会针对芯片制造行业短板装备的调研工作，针对我国光刻机、等离子刻蚀机、晶圆划片机、晶圆键合机、离子注入机等芯片制造核心装备，分析了其依赖进口的程度与技术成熟度，并对其国内外关键技术特征指标进行了对比分析，剖析了我国芯片制造装备与国外存在差距的原因以及需要攻克的核心关键技术。第三，筹备本次分会年会，同时，赵教授会上希望各位分会委员针对本次“明石杯”第一届微纳传感技术与智能应用大赛中存在的不足做出建议，希望进一步将大赛“做大”、“做强”、“做亮”；另外，针对分会年会的会议开展形式，向委员们征求了其他的可行组织形式，希望把分会办得有声有色；接着，与会人员讨论了分会收取会员年费的可行性，大家初步通过审议，每年获取部分年费，保障分会活动的开展；最后，赵教授传达了总会指导意见：根据中国机械工程学会建设世界一流学会的总体要求，各专业分会主要负责本专业领域的会员发展工作，希望分会各位委员能够积极推荐学生会员发展工作。
       蒋庄德院士做总结。他说，分会报告十分精彩，大会报告总体上涉及到了微纳制造与超精密加工两个方面，七位报告人的学术报告令人耳目一新。在超精密加工方面，蒋院士鼓励相关工作人员要沉得住气、坐得了冷板凳，以高端机床为例，虽然这类产品学术前沿研究性不强、产业化前景不大，但它是国之重器，买不来、讨不到，不能让其成为我国兵器、航空航天以及民用工业的装备瓶颈，是我们科研人员的责任与担当。在微纳制造方面，李昕欣老师的微铸造是多学科的融合，满足微型化批量制造的要求；苑老师的报告充满诗意，同时疏冰结构还可做进一步的深入研究，为国防事业做出更多的贡献；周天丰老师采用传统的制造加工方法解决了MEMS加工中存在的问题，具有良好的发展前景。