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- · 关于重申退还2020年评审费差价的通知[01/19]
- · 关于领取2020年南京市机械工程初/中级《专业技术资格评审申报表》和《评审、备案情况登记表》的通知[01/05]
- · 关于公布2020年度南京市机械工程高级专业技术资格评审委员会评审结果的通知[12/29]
- · 关于退还2020年评审费差价的通知[12/23]
- · 关于确认李伟祥等89名同志具备2020年度机械工程助理级专业技术资格的通知[12/17]
- · 关于公布南京市机械工程中级专业技术资格评审委员会评审结果的通知[12/15]
- · 关于省（部）属企事业单位不在南京市参评职称 及退还评审费的说明[11/13]
固结金刚石线锯锯切硅片的正交试验研究
作者: 戴军之 ; 左敦稳 ; 赵礼刚 ; 王珉
关键词: 硅片 固结金刚石线锯 正交试验研究
摘要：对固结金刚石线锯锯切硅片的工艺参数进行了正交试验研究。分析了工件进给速度、锯丝线速度和锯丝张紧力对硅片表面粗糙度的影响,获得了基于降低硅片表面粗糙度的最佳工艺参数。在本试验范围内,最佳工艺参数为：工件进给速度为0.5 mm/min,锯丝张紧力为0.22 MPa,锯丝线速度为1.5~1.8 m/s。