水相体系中纳米α-Al2O3的分散稳定性研究

作者: 曹连静 ; 孙玉利 ; 左敦稳 ; 祝晓亮 ; 张国家 ; 史晨红

关键词: 化学机械抛光(CMP) 纳米α-Al2O3 分散剂分散体系稳定性水相体系

摘要：采用无机电介质六偏磷酸钠（SHP），非离子型表面活性剂聚乙二醇（PEG400），阳离子型表面活性剂十六烷基三甲基氯化铵（CATC），阴离子型表面活性剂十二烷基苯磺酸钠（SDBS）作为分散剂，研究纳米α-Al2O3在水相介质中的分散稳定性。系统研究了分散剂质量分数、分散剂种类、pH值以及超声时间对于纳米α-Al2O3在水相介质中的分散性能的影响。结果表明，分散剂的质量分数对于分散体系稳定性影响最大，每一种分散剂都有其最佳值。随着超声时间的增加，分散体系稳定性呈先增后减的趋势。选用SDBS作为分散剂，分散剂质量分数为2．0％，pH=9，超声时间为20min时纳米α-Al2O3在水相介质中的分散稳定性最好。

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水相体系中纳米α-Al2O3的分散稳定性研究

作者: 曹连静 ; 孙玉利 ; 左敦稳 ; 祝晓亮 ; 张国家 ; 史晨红

关键词: 化学机械抛光(CMP) 纳米α-Al2O3 分散剂 分散体系稳定性 水相体系

关键词: 化学机械抛光(CMP) 纳米α-Al2O3 分散剂分散体系稳定性水相体系