基于光学鼠标传感器的中远距离微位移测量装置的设计

作者: 黄辉 ; 傅惠南 ; 库才高

关键词: 位移测量光学鼠标传感器中远距离微位移

摘要：在单晶金刚石弹性研磨过程中，测量研磨盘浮动的涡流传感器与盘面的距离较小，不利于研磨盘的调整。为了提高测量距离，提出了一种基于光学鼠标传感器ADNS3080的中远距离的微位移测量方法，分析了测量原理，对测量系统的光路、显示窗口、数据的存储、测量软件部分进行了设计。并通过试验证明该方法能实现中远距离微位移的测量。

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基于光学鼠标传感器的中远距离微位移测量装置的设计

作者: 黄辉 ; 傅惠南 ; 库才高

关键词: 位移测量 光学鼠标传感器 中远距离 微位移

关键词: 位移测量光学鼠标传感器中远距离微位移