铝过渡层沉积CVD金刚石涂层的研究

作者: 郑琳 ; 左敦稳 ; 徐锋 ; 卢文壮 ; 张旭辉 ; 黄美健 ; 朱良杰

关键词: 直流磁控溅射技术铝中间层金刚石薄膜高钴硬质合金

摘要：使用Murakami溶液和王水预处理高钴硬质合金刀片，并用直流磁控溅射（DCS）技术在此硬质合金上溅射铝过渡层，在热丝化学气相沉积（HFCVD）设备里沉积金刚石薄膜；分析了金刚石形核机理，并利用SEM以及Raman等方法表征试样。结果表明：与未溅射过渡层的样品相比，在过渡层上的金刚石形核密度更高，金刚石颗粒尺寸更加细小。

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铝过渡层沉积CVD金刚石涂层的研究

作者: 郑琳 ; 左敦稳 ; 徐锋 ; 卢文壮 ; 张旭辉 ; 黄美健 ; 朱良杰

关键词: 直流磁控溅射技术 铝中间层 金刚石薄膜 高钴硬质合金

关键词: 直流磁控溅射技术铝中间层金刚石薄膜高钴硬质合金