微／纳米CVD金刚石涂层的制备

作者: 张旭辉 ; 左敦稳 ; 徐锋 ; 庆振华 ; 黄美健 ; 郑琳

关键词: 热丝化学气相沉积金刚石涂层表面粗糙度

摘要：使用热丝化学气相沉积（HFCVD）装置，在以WC—CO硬质合金为衬底，采用调节涂层生长参数，制备出性能优良的彬纳米金刚石涂层。用SEM，AFM，Raman表征微观结构和表面品质。采用压痕法评估涂层的结合性能，并与微米金刚石涂层、纳米金刚石涂层进行比较。结果显示，当生长气压由3．3kPa降为1．0kPa时，底层的微米级晶粒逐渐被上层纳米级晶粒覆盖，并且涂层表面显露出纳米金刚石涂层特性。在结合性能实验中也指出，缈纳米金刚石涂层的结合性能比纳米金刚石涂层要优异。

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微／纳米CVD金刚石涂层的制备

作者: 张旭辉 ; 左敦稳 ; 徐锋 ; 庆振华 ; 黄美健 ; 郑琳

关键词: 热丝化学气相沉积 金刚石涂层 表面粗糙度

关键词: 热丝化学气相沉积金刚石涂层表面粗糙度