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- · 关于退还2020年评审费差价的通知[12/23]
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- · 关于公布南京市机械工程中级专业技术资格评审委员会评审结果的通知[12/15]
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CVD金刚石涂层拉丝模温度场数值分析
作者: 黄美健 ; 左敦稳 ; 卢文壮 ; 徐锋 ; 张旭辉
关键词: 热丝化学气相沉积 金刚石薄膜 拉丝模 温度场 数值分析
摘要：衬底温度是热丝化学气相沉积（HFCVD）制备金刚石薄膜的重要参数之一,在拉丝模表面沉积CVD金刚石涂层时,均匀的衬底温度场显得尤为重要。对HFCVD系统中制备CVD金刚石涂层时拉丝模衬底温度场进行数值分析,得到了拉丝模温度场的分布和热丝参数对衬底温度场的影响规律,为CVD金刚石涂层拉丝模的制备提供重要指导。