几种最新加工微阵列方法的比较

作者: 贾轶杰 ; 何勇 ; 张年松 ; 李迎

关键词: 微阵列 LIGA技术微细电火花线切割微磨技术组合式加工

摘要：分别介绍了使用LIGA技术、微细电火花线切割技术（μ-WEDM）、微磨技术、组合式加工技术加工微阵列的最新方法。使用移动LIGA技术加工微针阵列、微细电火花技术加工复杂的三维微阵列电极、微磨技术加工微锥塔阵列、和UV-LIGA技术与微细电火花技术组合加工微阵列电极的工艺方法。主要论述各种方法加工高深宽比阵列结构的原理及其优缺点以及加工中的效率、成本等问题。

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几种最新加工微阵列方法的比较

作者: 贾轶杰 ; 何勇 ; 张年松 ; 李迎

关键词: 微阵列 LIGA技术 微细电火花线切割 微磨技术 组合式加工

关键词: 微阵列 LIGA技术微细电火花线切割微磨技术组合式加工