硬质合金基体金刚石涂层沉积工艺研究

作者: 户海峰 ; 徐锋 ; 左敦稳 ; 赵云

关键词: 金刚石薄膜沉积工艺热丝化学气相沉积法硬质合金

摘要：CVD金刚石涂层具有高硬度、高耐磨性、低摩擦系数和高化学稳定性等优点，是作为刀具超硬涂层的理想材料。文中以CH4和H4为气源，采用热丝化学气相沉积法，在YG6硬质合金基体上沉积了金刚石薄膜。研究了CH4浓度、沉积温度和反应室气压对金刚石薄膜品质的影响。利用扫描电镜、拉曼光谱和压痕实验对其结构和附着性能进行表征，分析了各参数对金刚石薄膜品质的影响规律，发现降低CH4浓度、提高沉积温度、适当提高反应气压，可改善薄膜晶体品质并提高涂层与基底的附着能力。

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硬质合金基体金刚石涂层沉积工艺研究

作者: 户海峰 ; 徐锋 ; 左敦稳 ; 赵云

关键词: 金刚石薄膜 沉积工艺 热丝化学气相沉积法 硬质合金

关键词: 金刚石薄膜沉积工艺热丝化学气相沉积法硬质合金