ZnO压电薄膜微悬臂梁的结构设计及研究

作者: 张敏亮 ; 谭晓兰 ; 王峰

关键词: 微压力传感器微悬臂梁 ZnO薄膜力-电荷量方程

摘要：当压力作用在ZnO压电薄膜微悬臂粱上时，产生电荷量的大小将直接决定压电传感器灵敏度的高低。根据等效截面法，推导了复合微悬臂梁所受的作用力与其产生电荷量的关系方程，为传感器标定和力的测量提供理论依据，并依据此转换方程，对压电微悬臂梁的结构尺寸进行比较分析，以提高传感器的灵敏度和分辨率。此研究为压电微悬臂梁压力传感器的结构优化设计提供了一定的参考。

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ZnO压电薄膜微悬臂梁的结构设计及研究

作者: 张敏亮 ; 谭晓兰 ; 王峰

关键词: 微压力传感器 微悬臂梁 ZnO薄膜 力-电荷量方程

关键词: 微压力传感器微悬臂梁 ZnO薄膜力-电荷量方程