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- · 关于退还2020年评审费差价的通知[12/23]
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- · 关于公布南京市机械工程中级专业技术资格评审委员会评审结果的通知[12/15]
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用于硅片检测的精密直线运动平台的设计与实现
作者: 汪家胜 ; 金建新 ; 周振华 ; 姜伟
关键词: 硅片检测 直线电机 精密 运动平台
摘要:硅片检测过程要求其运动系统具有较高的精度,实现其中的精密直线运动对整个复合运动平台至关重要.采用直线电机驱动的方式设计了一套精密直线运动平台,阐述了其机械系统和控制系统设计过程.实验结果和实际应用表明:本平台比目前采用滚珠丝杠驱动的直线运动平台具有更高的精度、更大的加速度、运行更平稳和更长的寿命等优点,可以完成硅片检测过程要求的运动,运动精度满足了应用场合的要求.