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  《机械制造与自动化》创刊于1972年,双月刊,16开本,中国科技核心期刊。期刊主要栏目有:综述与展望;机械制造;信息技术;电气与自动化;专题讲座等。服 ...

晶体生长过程高精度温度控制系统设计

作者:沈正阳 潘丰

关键词: 晶体生长; 温度控制; 顺序控制; 系统设计;

摘要:目前晶体生长装置通常采用PLC进行控制,但常规PLC的温度测量精度达不到要求的控制精度。采用PLC和高精度智能温度控制表结合,使生长槽温度精度达到±0.01℃。同时设计顺序降温控制,在规定的时间内,可进行阶段性的降温达到设定的温度。该系统已在实际生产中使用,满足了高品质晶体生长的要求。 


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