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- · 关于重申退还2020年评审费差价的通知[01/19]
- · 关于领取2020年南京市机械工程初/中级《专业技术资格评审申报表》和《评审、备案情况登记表》的通知[01/05]
- · 关于公布2020年度南京市机械工程高级专业技术资格评审委员会评审结果的通知[12/29]
- · 关于退还2020年评审费差价的通知[12/23]
- · 关于确认李伟祥等89名同志具备2020年度机械工程助理级专业技术资格的通知[12/17]
- · 关于公布南京市机械工程中级专业技术资格评审委员会评审结果的通知[12/15]
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晶体生长过程高精度温度控制系统设计
作者:沈正阳 潘丰
关键词: 晶体生长; 温度控制; 顺序控制; 系统设计;
摘要:目前晶体生长装置通常采用PLC进行控制,但常规PLC的温度测量精度达不到要求的控制精度。采用PLC和高精度智能温度控制表结合,使生长槽温度精度达到±0.01℃。同时设计顺序降温控制,在规定的时间内,可进行阶段性的降温达到设定的温度。该系统已在实际生产中使用,满足了高品质晶体生长的要求。