微悬臂梁长度对梁末端与底座粗糙面间接触的影响

作者: 黄健萌陈英

关键词: MEMS器件磁致伸缩薄膜微悬臂梁粗糙面微梁长度接触特性

摘要：将磁致伸缩效应等效为材料的热膨胀效应,考虑微梁末端与底座粗糙面微凸体间的相互作用、材料弹塑性变形及微梁弹性恢复力等影响,利用ABAQUS动态模拟了磁致伸缩薄膜悬臂梁末端与底座粗糙面间的接触,分析了不同长度悬臂梁对接触特性的影响.结果表明,重复加卸载过程中,接触面积、法向接触力随着微梁长度的增加呈近似线性增长,而最大等效塑性应变值随微梁长度的增加呈非线性关系,说明微梁长度对梁与底座粗糙面间接触特性的影响十分重要,进而影响到系统工作的可靠性.

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微悬臂梁长度对梁末端与底座粗糙面间接触的影响

作者: 黄健萌 陈英

关键词: MEMS器件 磁致伸缩薄膜微悬臂梁 粗糙面 微梁长度 接触特性

作者: 黄健萌陈英

关键词: MEMS器件磁致伸缩薄膜微悬臂梁粗糙面微梁长度接触特性