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工艺参数对多弧离子镀TiAlN涂层铝含量和硬度的影响
作者: 周陶 袁军堂 汪振华 黄雷
关键词: 多弧离子镀 TiAlN涂层 正交分析 Al含量 硬度
摘要：为研究不同工艺参数对多弧离子镀制备TiAlN涂层性能的影响规律,设计了L9(34)正交试验表,并通过试验研究了弧电流、衬底负偏压、氮气/氩气流量比以及腔体压强对涂层Al含量和硬度的影响规律,得到了最佳工艺参数优化组合.结果表明:影响Al含量的因素按重要性排序依次是:腔体压强、氮气/氩气流量比、衬底负偏压、弧电流.影响涂层硬度的因素按重要性排序依次是:弧电流、氮气/氩气流量比、腔体压强、衬底负偏压.
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